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鳩ヶ谷工場のご紹介

1979年に半導体製造機器の開発及び製造を開始。以来独自の技術や視点から、オリジナリティーに満ちた、様々な半導体製造機器を設計・製作・販売を行っております。
実験設備も準備しており、お客様の要求に対応します。

１．セミオート装置
研究開発、実験機として最適。４”～６”対応。
他に８”対応機種も製造。
MS-111　セミオート塗布装置
MS-114　セミオート現像装置

※写真はMS-111

２．自動塗布、現像装置（８”対応）
ＶＲシリーズ
１カップ、２カップの２タイプあり。
VICD-8000
４カセットを装備し塗布、現像、ベークの併列処理可能。

VRC/D-8000

VICD-8200

３．洗浄装置、エッチング装置（８”対応）
洗浄装置：枚葉処理にてソフトスプレー、
ハイプレッシャーの洗浄方法を選択可能。
エッチング装置：枚葉処理にて、薬液リサイクルにも
対応可能。

VS-8000

VE-8000

４．リフトオフ装置
シリコン基板上にレジスト及び成膜された金属薄膜を高圧ノズルより吐出されたＮＭＰ液によって除去し、その後ＩＰＡ液置換、ブラシにて洗浄・スピン乾燥用装置。

VL-6000

５．１２”装置ラインナップ
FOUPユニットを装備し多様なニーズに対応しております。

VE-12000 12" SPIN ETCHING SYSTEM

VRC-12000 12" SPIN COATER

VRFD-12000 12" DRY FILM DEVELOPER

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